第七章 工业气体管道


第一节 一般规定

    第7.1.1条 工业气体管道的干管，应敷设在技术夹层、技术夹道内。氢气和氧气管道宜明敷，如敷设在技术夹层、技术夹道内时，应采取良好的通风措施。
    引入洁净室的支管宜明敷。
    第7.1.2条 高纯气体管道设计，应符合下列要求：
    一、根据计算确定管径；
    二、管道系统应尽量短；
    三、不宜设预留口；
    四、不应出现“盲管”等不易吹除的部位；
    五、干管和支管上应设置吹除口；
    六、在管道系统上应设置必要的取样口。
    第7.1.3条 穿过洁净室墙壁或楼板的气体管道，应敷设在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应采取可靠的密封措施。
    第7.1.4条 氢气和氧气管道的末端或最高点宜设放散管。
    放散管应高出屋脊１米，并应设在防雷保护区内。
    第7.1.5条 气体净化装置应根据气源和生产工艺对气体纯度的要求进行选择。气体终端净化装置应设在靠近用气点处。
    第7.1.6条 气体过滤器应根据生产工艺对气体含尘量的要求进行选择。高纯气体管道应装设高效气体过滤器。

第二节 管道材料、阀门和附件

    第7.2.1条 根据不同的气体及其纯度和用途，管道材料应按下列规定选用：
    一、气体纯度大于或等于99.999%时，应采用不锈钢管；
    二、气体纯度大于或等于99.99%时，宜采用不锈钢管、铜管、无缝钢管；
    三、气体纯度小于99.99%时，可采用无缝钢管；
    四、管道与设备的连接段，宜采用金属管道；如为非金属软管时，宜采用聚四氟乙烯管、聚乙烯管，不得采用乳胶管。
    第7.2.2条 高纯气体管道应采用密封性能好的阀门和附件，其材料与管道相适应。阀门的密合圈应为有色金属、不锈钢或聚四氟乙烯材料。阀门的填塞料应采用聚四氟乙烯材料。
    第7.2.3条 高纯气体管道与附件连接的密封垫，应采用不锈钢、有色金属、聚四氟乙烯或氟橡胶材料。

第三节 管道连接和清洗

    第7.3.1条 管道连接应采用焊接。高纯气体管道应采用承插焊。
    第7.3.2条 管道与设备、阀门的连接处，宜采用法兰、螺纹或其它密封性能优良的连接件。螺纹处宜采用聚四氟乙烯带密封。
    第7.3.3条 高纯气体管道内的内壁、阀门和附件在安装前，应进行清洗、脱脂等预处理。

第四节 安全技术

    第7.4.1条 工业气体管道设计的安全技术，应符合下列规定：
    一、氢气管道的支管和放散管上，应设置回火防止器；
    二、氢气和氧气管道应设置导除静电装置；
    三、各种气体管道应设明显标志。
    第7.4.2条 洁净室内使用氢气时，宜在室内设置报警装置。
    第7.4.3条 各种气瓶应集中设置在洁净厂房外。当日用气量不超过一瓶时，气瓶可设置在洁净室内。