第五章 空气净化

第一节一般规定

    第5.1.1条 洁净厂房内各洁净室的空气洁净度等级的确定，应符合下列要求：
    一、洁净室内有多种工序时，应根据各工序的不同要求，采用不同的空气洁净度等级。
    二、在满足生产工艺要求的前提下，洁净室的气流组织，宜采用局部工作区空气净化和全室空气净化相结合的形式。
    第5.1.2条 层流洁净室和乱流洁净室以及运行班次和使用时间不同的洁净室，其净化空气调节系统均宜分开设置。
    第5.1.3条 洁净室内的计算温、湿度，应符合下列规定：
    一、满足生产工艺要求；
    二、生产工艺无温、湿度要求时，洁净室温度为20～26℃，湿度小于70%；
    三、人员净化用室和生活用室温度为16～28℃。
    第5.1.4条 洁净室内应保证一定的新鲜空气量，其数值应取下列风量中的最大值：
    一、乱流洁净室总送风量的10～30%，层流洁净室总送风量的2～4%；
    二、补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量；
    三、保证室内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。
    第5.1.5条 洁净区的清扫，宜采用移动式高效真空吸尘器或设置集中式真空吸尘系统。洁净室内集中式真空吸尘系统的管道，应暗敷。
    第5.1.6条 在净化空气调节系统设计中，对施工和维护管理要求，可按附录四和附录五的规定。

第二节 洁净室正压控制

    第5.2.1条 洁净室必须维持一定的正压。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差，应不小于0.5毫米水柱，洁净区与室外的静压差，不应小于1.0毫米水柱。
    第5.2.2条 洁净室维持不同的正压值所需的正压风量，宜按下式计算：
           Ｑ＝ａ·Σ（ｑ·Ｌ）                （5.2.2）
    式中Ｑ——维持洁净室正压值所需的正压风量（平方米/时）；
ａ——根据围护结构气密性确定的安全系数，可取1.1～1.2；
ｑ——当洁净室为某一正压值时，其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量（平方米/时·米）；
Ｌ——围护结构的缝隙长度（米）。

    第5.2.3条 围护结构单位长度缝隙的渗漏风量，可按表5.2.3采用。
    第5.2.4条 送风、回风和排风系统的启闭应联锁。系统开启时，联锁程序应为先启动送风机，再启动回风机和排风机；系统关闭时，则联锁程序应相反。
    第5.2.5条 非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班风机，并应对新风进行处理。